Simulación Numérica del Flujo a Bajo Número de Reynolds en un Microresonador de Tipo Placa. Parte 3: Variaciones en la Geometría

Abstract

Se presenta una modelización numérica del flujo tridimensional de un fluido viscoso newtoniano en régimen oscilatorio alrededor de un microresonador de tipo placa utilizado en sistemas microelectromecánicos (MEMS). El microresonador consiste en una placa de oro con una alta relación de aspecto, de muy bajo espesor, perforada con 18 × 4 orificios cuadrados equiespaciados. La placa está empotrada en ambos extremos y vibrando en su primer modo natural a una frecuencia de 20 kHz por encima de un sustrato fijo. Se calcula el factor de calidad del dispositivo, expresado como el cociente entre la energía total del sistema y aquella que disipa al fluido en un ciclo de oscilación, con Galerkin BEM (Galerkin Boundary Element Method).