Simulación Numérica del Flujo a bajo Número de Reynolds en un Microresonador del Tipo Placa. Parte 4: Placas Cuadradas con M x M Perforaciones

Abstract

Se presenta una modelización numérica del flujo tridimensional de un fluido viscoso newtoniano en régimen oscilatorio alrededor de un microresonador de tipo placa utilizado en sistemas microelectromecánicos (MEMS). El microresonador consiste en una placa de oro cuadrada, de muy bajo espesor, perforada con M × M orificios cuadrados equiespaciados, donde M = 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8. La placa está sostenida por cuatro vigas soporte empotradas en sus extremos y vibrando en su primer modo natural por encima de un sustrato fijo. Se calcula el factor de calidad del dispositivo, expresado como el cociente entre la energía total del sistema y aquella que disipa al fluido en un ciclo de oscilación, tanto con OpenFOAM, como con Galerkin BEM (Galerkin Boundary Element Method).